Process Insights (ehem. LAR)


    Process Insights, einschließlich der Marke Tiger Optics, entwickelt Ultrahochreinheits-Gasanalysatoren auf Basis der Cavity-Ring-Down-Spektroskopie (CRDS) und der abstimmbaren Diodenlaser-Absorptionsspektroskopie (TDLAS) sowie Wasseranalysatoren. Sie werden vor allem in der Halbleiter- und Reinstgasproduktion zur Detektion von Spurenfeuchte und Verunreinigungen eingesetzt.


    Messprinzipien

    Laserspektroskopie (TDLAS / QCL / LAS)AJ-VorschlagCavity-Ring-Down-Spektroskopie (CRDS)AJ-Vorschlag


    Technologie & Methode

    Ultrahochreinheits-Gasanalyse (CRDS)TDLAS-SpurengasmessungHalbleiterprozessanalytik